小型高低温真空探针台可提供真空和变温环境，具有变温范围大、真空度高、体积小、控制精度高、易操作等优点，10kV的高压探针可满足块体材料高压测试需求，通过与铁电测试仪、阻抗分析仪、半导体参数测试仪、源表等仪器连用，广泛用于介电、半导体块体和薄膜材料及其器件的性能测试。
主要参数：
冷热方式 | 液氮致冷，电加热 |
温控范围 | -190～600 ℃ |
温度稳定性 | ±0.1 ℃ |
升降温速率 | 0~20℃/min（可定点 / 程序段控温） |
工作模式 | 恒温、变温（ 程序升降温曲线） |
视窗材质、尺寸 | 石英玻璃，Φ25mm侧面，/50mm顶面 |
探针 | 三维手动调节探针4根BNC。可选装10kV高压探针、扩展探针数量 |
XYZ位移行程 | xy18mm，z轴10mm。位移精度~5μm |
探针接口 | 信号：BNC接口。高压：香蕉接口（可定制） |
样品台面电位 | 样品台接地，台面可选绝缘配置 |
样品台尺寸 | Φ30mm |
外形尺寸（含探针调节台） | ~400*400*200mm |
气路 | 真空阀，接口可选 |
腔室 | 可通气氛、抽真空，真空度由用户真空泵定 |
测控软件 | 提供PC端控制软件，以及与阻抗分析仪、源表和铁电测试仪等联用的一键测试软件 |
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基本配置 | 探针台体、控制器、温控软件 |
选配 | 多通道测试模块、10kV高压探针、油浴样品温控附件、液氮罐、真空泵、显微镜、气体流量计、电脑主机、测试仪表等 |
选配接口种类、数量 | 电学、光学和气体接口，定制测试扩展接口配件 |
