变温铁电测试设备
由高低温真空探针台和铁电分析仪构成，兼容薄膜、块体和液体多样品，软件用于控制控温探针台和铁电分析仪等测试仪表，测量材料和器件铁电性能参数随温度的变化关系。
主要参数：
适用仪器： 各种进口和国产铁电分析仪，以及 Agilent/Keysight阻抗分析仪，LCR表，Keithley源表，以及其它相关公司测试仪表等。
温度范围：-190℃~600℃。
测量可变环境参数：温度、气氛。
样品：薄膜、块体、液体样品。
