一体化高低温真空探针台，结构紧凑，体积小，探针移动不受真空内外压差影响，接口齐全，应用场景不受限。可实现宽温范围、真空或气氛控制，与各种阻抗分析仪、LCR表、铁电测试仪、半导体参数测试仪、源表等联用，实现介电、铁电、压电、半导体、光伏等功能材料与器件的性能测量。
主要参数：
冷热方式 | 液氮致冷，电加热 |
温控范围 | -190～600 ℃ |
温度稳定性 | ±0.1 ℃ |
升降温速率 | 0~20℃/min（可定点 / 程序段控温） |
工作模式 | 恒温、变温（ 程序升降温曲线） |
视窗材质、尺寸 | 石英玻璃，Φ25mm侧面，/50mm顶面 |
探针 | 三维手动调节探针4根BNC。可选装10kV高压探针、扩展探针数量 |
XYZ位移行程 | xy18mm，z轴10mm。位移精度~5μm |
探针接口 | 信号：BNC接口。高压：香蕉接口（可定制） |
样品台面电位 | 样品台接地，台面可选绝缘配置 |
样品台尺寸 | Φ30mm |
外形尺寸（含探针调节台） | ~400*400*200mm |
气路 | 真空阀 |
腔室 | 可通气氛、抽真空，真空度由用户真空泵定 |
测控软件
| 提供PC端控制软件，以及与阻抗分析仪、源表和铁电测试仪等联用的一键测试软件
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基本配置 | 探针台体、控制器、温控软件 |
选配 | 多通道测试模块、10kV高压探针、油浴样品温控附件、液氮罐、真空泵、显微镜、气体流量计、电脑主机、测试仪表等 |
选配接口种类、数量 | 电学、光学和气体接口，定制测试扩展接口配件 |
